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高真空蒸發(fā)鍍膜儀

簡要描述：高真空蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對于實驗研究，這是一款鍍膜效果理想并且性價比較高的實驗設備。

  • 產品型號：GSL-1800X-ZF4
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2025-02-11
  • 訪  問  量：3865

詳細介紹

 

技術參數(shù)

操作視頻 點擊查看

電壓
  • 輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
  • 輸出： 0 - 8VAC （可調）zui大電流： 400A （可調）
  • zui大功率：4000W（包括真空泵）

真空腔體
  • 不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內壁做了電拋光處理
  • 有一個150mm的觀察窗口（采用無氧銅密封圈密封）
  • 一個RF-150法蘭，便于放入樣品。
  • 一個KF-40法蘭,可與真空泵相連接
  • 四個CF-35法蘭，便于安裝真空計、電極和其他用途備用

真空泵

（點擊圖片查看詳細資料）
  • 儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵和前級泵
  • 前級泵抽速：600L/S
  • 真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）
  • 極限真空度：5.0x10-7  torr（烘烤溫度為60-80℃）
  • 漏氣率：5.0x10-7Pa./S

 

蒸發(fā)加熱源 樣品臺
  • 5個水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個鎢加熱舟
  • 每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板，所以實驗時可以防止各物料之間的污染，樣品臺安裝在真空腔體頂部，直徑為150mm

  • 樣品臺可以旋轉和加熱，旋轉速度0-20rpm，加熱zui高溫度600℃

  • 蒸發(fā)源與樣品臺的距離為250mm

測厚儀
  • 一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內部
  • 測量精度為：1.0Å

循環(huán)水冷機
  • 儀器使用過程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強烈建議使用循環(huán)水冷機
  • 所需水流量>15L/min

   

控制單元
  • 真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內
  • 控制單元和真空腔體獨立分開，以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

凈重

600kg

質保

一年質保期，終生維護

質量認證

CE認證

 

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