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簡要描述:OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。
產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。
特征:
1、與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)
2、對于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制
3、通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量
4、能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.
技術(shù)參數(shù)
開啟式管式爐 |
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等離子體射頻電源 |
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真空法蘭和接頭 |
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真空泵 |
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產(chǎn)品尺寸和重量 | 外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) 凈重: 160 lbs |
可選配置 | 請點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |
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